Центральное конструкторское бюро «Дейтон» (входит в ГК «Элемент») представило семейство робототехнических комплексов для проверки микроэлектроники при ее изготовлении. На устройствах установлены камеры, электронные микроскопы и различные датчики. Для выявления дефектов используются нейросети, обученные больше чем на 6 тыс. изображений.

Робототехнические комплексы исследуют микроэлектронику на разных этапах производства. Устройства с помощью алгоритмов машинного зрения анализируют, соответствуют ли микросхемы установленным стандартам. Результаты анализа в режиме реального времени выводятся на монитор.

Робототехнические комплексы протоколируют ход проверки, формируют сводную информацию по обнаруженным изъянам, рассчитывают выход годных микросхем. Устройства также проверяют, растет или снижается качество изделий. Благодаря этому можно обнаружить уязвимость в технологическом процессе.

Роботы могут проверять микросхемы с размером от 0,1 до 300 мм. Максимальное разрешение камеры — до 3 микрон. Устройства выявляют трещины, царапины, сколы, непропечатанные фрагменты, перекосы, неоднородности, обрывы дорожек, пыль и остатки химикатов. Скорость проверки достигает 1 кв. см в секунду.

Представлено три вида оборудования. Первый робототехнический комплекс — это манипулятор, который сканирует микроэлектронику на паллетах. Второй тип предназначен для контроля кремниевых пластин. Третий вид — это конвейерные установки. Робот на конвейере проверяет микроэлектронику в непрерывном потоке и сразу сортирует изделия: годные остаются на ленте, дефектные отправляются на доработку, бракованные снимаются с производства.

Робототехнические комплексы проходят этап опытной эксплуатации на нескольких российских предприятиях. Планируется внедрение датчиков, чувствительных в инфракрасном и ультрафиолетовом диапазонах электромагнитного излучения, а также ультразвуковых средств обнаружения дефектов.