Минпромторг России планирует направить около 1,4 млрд руб. на разработку отечественного оборудования для жидкостной химической обработки кремниевых пластин. Производственная линия позволит выполнять травление, очистку и сушку компонентов диаметром до 100, 150 и 200 мм в составе серийных техпроцессов.

Оборудование должно заменить американские и японские аналоги, использующиеся на российском производстве.

Руководитель проектов компании «Интеллектуальная аналитика» Тимофей Воронин пояснил, что подобные установки необходимы для удаления толстых слоев, очистки от органических загрязнений и избирательного вытравливания остатков материалов с разной скоростью без создания дополнительных дефектов.

Новая установка за один цикл будет обрабатывать до 100 пластин одновременно. Ожидается, что ее создадут до ноября 2029 года.

В июне стало известно о планах Минпромторга России по проведению двух конкурсов опытно-конструкторских работ по освоению производства материалов для электронно-лучевой и взрывной литографии.