Россия и Белоруссия объединили усилия для создания линейки оборудования для производства фотошаблонов и фотолитографии. Отечественные предприятия в сотрудничестве с белорусской компанией «Планар» разрабатывают девять таких установок.

Согласно презентации директора департамента станкостроения Минпромторга России Валерия Пивеня, совместные проекты с «Планаром» охватывают почти всю технологическую цепочку производства: от создания рисунка на фотошаблоне до контроля его дефектов.

Фотошаблон — это стеклянная пластина с рисунком топологии микросхемы, которая используется в фотолитографии как «негатив» для переноса изображения на кремниевую пластину.

В перечень разработок входят генератор изображений на фотошаблонах для техпроцессов 90–65 нм и установка контроля топологии на фотошаблонах для тех же норм. В 2026 году запланировано создание нескольких установок: переноса меток совмещения на обратную сторону пластины, контроля координат топологических элементов, лазерного устранения и контроля привносимой дефектности. На 2027 год запланирована установка контроля полутоновых маскирующих покрытий.

В июне сообщалось, что Минпромторг России планирует направить около 1,4 млрд руб. на разработку отечественного оборудования для жидкостной химической обработки кремниевых пластин.